2017年9月4日，北京——世界領先的真空儀器供應商英福康（INFICON）公司重磅推出其新一代干式氦氣檢漏儀產品——UL3000 Fab(PLUS)。基于靈活性、可移動性、靈敏性和可靠性的大幅提升，UL3000 Fab(PLUS)能夠快速啟動并提供快速精確的檢測結果，是英福康針對半導體行業的新需求和新變化創新研發的最新一代的檢漏儀器。

　　滿足客戶需求，持續創新發展

　　半導體芯片是構成消費電子產品的重要部件，隨著現今電子產品不斷向輕薄化、智能化、高端化方向發展，半導體的生產也面臨著往更精小、更強大等需求進行變革和升級。每個半導體芯片上含有數十億個極微小的電氣設備，需要通過許多重復的真空步驟制造。另外，精細的層次和電路圖案也需要通過小心控制的真空沉蝕和蝕刻過程進行加工。這其中，能否確保優質的真空加工環境就成了半導體制造和生產的關鍵環節。

　　“不斷創新優化技術產品，持續滿足客戶需求，是英福康多年發展始終秉持的核心理念。針對半導體行業在檢漏程序上的新變化和新需求，英福康創新研發了新一代的氦氣檢漏儀UL3000 Fab(PLUS)，以期用更高效的檢測步驟、更便捷的檢漏操作來增強用戶的滿意度。”英福康中國負責人趙凡非先生介紹說。

　　快速獲取結果，高效與智能兼備

　　在制造技術層次不斷提高、復雜度持續增加的市場大趨勢下，半導體生產的成本也在不斷提高，要想繼續維持低成本、高良率、增強自身競爭優勢，保障半導體真空制造環境的潔凈度就變得非常重要。同時，配備一臺高效靈敏的檢漏儀器的必要性也得到了市場的進一步認可。新一代UL3000 Fab(PLUS) 氦氣檢漏儀能夠快速獲取檢測結果、提供極短響應時間的優勢就很好的符合了這一行業趨勢。創新低維護真空泵設計讓儀器在大氣壓力下即可進行泄漏檢測，方便快捷；I-CAL（漏率的智能計算程序）確保了在全部測量范圍內最快速的響應時間；HYDRO-S軟件則能消除系統中的水汽對檢漏結果的影響，使泄漏檢測過程更加迅速。

　　此外，UL3000 Fab(PLUS)還是一臺智能型檢漏儀器，其無需任何特殊軟件或應用程序，即可通過智能手機和平板電腦直接對儀器進行無線控制的優勢，對于復雜和要求嚴格的半導體生產環境尤為適用。

　　人性化的設計考量，最佳用戶體驗

　　新一代的檢漏儀設備UL3000 Fab(PLUS)在用戶友好性上也下足了功夫。首先是靈活纖巧的外形，低重心、大底輪、纖薄細長的小車型儀器設計，搭配上符合人體工程學的手柄，讓檢漏儀在更便于用戶操作的同時也能非常輕松地應對多種復雜的現場環境，即使是再狹小的空間也移動自如。其次，新型觸摸屏顯示器也是UL3000 Fab(PLUS)的亮點之一，其不僅可遠距離顯示測量結果和狀態信息，現代化的菜單結構和可旋轉的設計也讓用戶對于檢測結果一目了然。此外，新儀器也充分考慮到了用戶實際應用中的問題，直觀的顯示屏操作指南加上用戶引導型菜單，就算是未經培訓的員工也能輕松操作、很快上手。

　　同時，小車型的儀器還搭載有多種檢測配件和設備，例如氦瓶支架、真空軟管、連接器配件等。一臺設備，多種功能，UL3000 Fab(PLUS)讓檢漏操作再無后顧之憂。

　　圖1：英福康新一代氦氣檢漏儀UL3000 Fab(PLUS)