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迎接7nm時代 英特爾、臺積電等巨頭們都做了什么

2017-03-06

半導體研究機構 ICinsights 于2017年3月3日公告中指出,2017 年有11家半導體廠資本支出預算超過 10億美元,占全球半導體產業總合的78%。而2013年,全球僅有8家半導體廠資本支出預算超過10億美元水平。前十大廠有兩家今年資本支出成長在兩成以上,分別是英特爾的25% 與格邏方德的33%。

英特爾的做法

為了進一步發展生產制程,英特爾將在 2017 年建立一座 7 納米制程的試驗工廠。該實驗工廠將會測試 7 納米晶片生產制程。不過,雖然英特爾并未提及會在何時開始這種制程晶片的量產,外界認為至少在未來 2 到 3 年內不會實現。

英特爾表示,7納米制程將為晶片帶來更大的設計變化,使其體積變得更小,也更為節能。英特爾計劃使用奇特的III-V材料(比如氮化鎵)來進行晶片生產,在提高性能速度的同時也達到更長續航能力。同時,他們將會在生產中引入極紫外線(EUV)工具,來協助進行更加精細的功能蝕刻過程。

按照英特爾原來的“工藝、架構、優化” 等三步驟來進行規劃,7納米制程的處理器原本最快應在 2020 年出樣,2021 年發貨。事實上,根據業內推測,這些7納米的處理器不太可能在6到7年內問世。

格羅方德的做法

格羅方德去年因產能閑置,資本支出大減 62%。格邏方德已決定跳過 10納米,直接挑戰 7 納米制程,預料今年絕多數資本支出將用于采購新設備與技術研發。

此外,格羅方德在發展7納米的同時把注意力放到了實際應用上:22納米FD-SOI(全耗盡型絕緣層覆硅)制程生產線,產品將能廣泛運用于行動終端、物聯網、汽車電子等領域。

在物聯網浪潮下,FD-SOI技術也日漸受到重視。與FinFET相比,FD-SOI基板雖然較貴,但在掩模數量與制造工序比FinFET要少一些,降低部分光罩成本也縮減了制造時間,在技術上比FinFET更適合類比/混合訊號以及RF,FD-SOI還具備了低功耗的優勢,因此,不少人認為FD-SOI將是物聯網較佳選擇,或能與FinFET互補。

該企業2015 年推出的22納米FD-SOI平臺后,在去年9月進一步發表新的12納米FD-SOI技術。新一代12納米FD-SOI產品,估計2018年底將于德國Dresden Fab 1投產,2019 年將22 納米FD-SOI 生產重心轉移至成都新廠。

臺積電和三星的做法:

在2017 年ISSCC(International Solid-State Circuits Conference,國際固態電路研討會)上,臺積電  5 篇論文獲選(美國臺積電 1 篇),2 篇論文為類比電路領域,記憶體電路設計則有 3 篇。

業界認為,臺積電將領先業界在大會上發表7納米FinFET技術。揭示迄今最小位元數 SRAM 在7納米FinFET的應用,驗證0.027μm2 256 Mbit SRAM測試晶片在7納米制程下,能大幅提升手機、平板電腦中央處理晶片運算速度,同時滿足低功率需求。

臺積電、三星通常以 SRAM、DRAM 來練兵,先從記憶體下手,當良品率提升到一定程度再導入邏輯產品。臺積電先前預估10納米年底量產、7納米最快 2018 年第一季生產。

三星在10月初搶先臺積電宣布10納米量產,市場近期傳出臺積電7納米最快在明年2017 就可試產,4月接單。三星在7納米就引進極紫外光微影設備,并預計2017年年底7奈米量產。


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