晶硅太陽能電池（cSi）是目前市場上最成熟、并得到廣泛應用的太陽能光伏電池，在整個產(chǎn)業(yè)占有90%的市場份額。日前，世界知名高科技設備制造商 Manz集團為滿足不斷增長的市場需求推出了業(yè)界領先的cSi生產(chǎn)解決方案， 在PERC太陽能電池的生產(chǎn)在線得以量產(chǎn)出（背面鈍化太陽能電池）平均效率高達20.6%的PERC電池。Manz此次展出兩款生產(chǎn)PERC電池的關鍵設 備參加SNEC第九屆（2015）國際太陽能產(chǎn)業(yè)及光伏工程（上海）展覽會（SNEC PV Power Expo 2015），包括用于太陽能電池正面和背面鈍化的VCS 1200垂直真空鍍膜系統(tǒng)，以及LAS 2400 激光開孔技術。該展會于4月28日至30日在上海新國際博覽中心舉行，是中國最具影響力的光伏（PV）太陽能產(chǎn)業(yè)展覽會之一。Manz公司展位為E3廳535號展位。
Manz擁有關鍵的設備和工藝技術幫助客戶將其標準電池生產(chǎn)線轉(zhuǎn)換成高效率PERC電池生產(chǎn) 線，提高盈利并降低生產(chǎn)成本。Manz新一代生產(chǎn)工藝采用VCS 1200垂直真空鍍膜系統(tǒng)在電池背面沉積電介質(zhì)鈍化層，結合LAS 2400激光開孔技術，可幫助電池生產(chǎn)企業(yè)實現(xiàn)高效晶硅太陽能電池的大批量生產(chǎn)并節(jié)省更多總擁有成本。同時，由于采用了易于維護的全自動化工具，Manz 解決方案占用空間更小。VCS 1200和LAS 2400均適用于單晶硅和多晶硅太陽能電池生產(chǎn)。
Manz VCS 1200系統(tǒng)在提升轉(zhuǎn)換效率的同時也提高了生產(chǎn)率，樹立了電池生產(chǎn)工藝新標桿。它采用獨特的垂直加工技術，產(chǎn)量高達每小時1,200個硅片。這種垂直式構 造結合全新的載具系統(tǒng)，可避免出現(xiàn)未鍍區(qū)。簡而言之，該鍍膜工藝不會在硅片上留下任何針印或缺陷，是許多同類廠商系統(tǒng)所不具備的獨特優(yōu)勢。此外，由于配備 了高效能電漿源，Manz高性能PECVD工藝技術保障了最佳的加工再現(xiàn)性，以及業(yè)界最高水平的電池效率和均勻性。同時，該系統(tǒng)采用的“快速更換清洗”理 念使電池制造企業(yè)得以在系統(tǒng)外部清洗工藝區(qū)和載具，實現(xiàn)了停機時間最小化。
在激光技術領域，Manz作為領先的激光加工系統(tǒng)提供商，結合自身強大的技術實力為客戶提供關 于激光工藝、光學、視覺和自動化方面的解決方案。公司最具代表性的激光加工設備為LAS 2400激光開孔系統(tǒng)，已被多家知名太陽能電池制造商選用幫助他們成功實現(xiàn)高效PERC電池的量產(chǎn)。LAS 2400系統(tǒng)采用獨特的平頂式光斑設計，可實現(xiàn)30至80 μm的光斑尺寸和不同的光斑形狀，與高斯光束剖面相比可以更加靈活適應不同的工作平面位置，為客 戶提供了一個開孔均勻、高度穩(wěn)定的工藝窗口。該系統(tǒng)采用模塊化、小尺寸設計，非常適宜現(xiàn)有生產(chǎn)線的升級，每小時可處理2,400個硅片。此外，基于掃描頭 的靈活性允許客戶自行設定開孔形狀。結合VCS 1200系統(tǒng)，Manz LAS 2400系統(tǒng)可用于背面鈍化層的局部電極開孔，是一款操作簡單、高精度、高產(chǎn)出的解決方案。Manz激光開孔技術為一站式工藝，不僅在這一電池生產(chǎn)流程保 證了最低擁有成本，還實現(xiàn)了硅片的安全處理，將破片率降至業(yè)界最低。未來Manz將繼續(xù)憑借自身的技術實力和專業(yè)知識來推動PERC PECVD和激光開孔等技術的完善和升級。
利用業(yè)界領先的自動化系統(tǒng)，Manz幫助客戶顯著提高企業(yè)生產(chǎn)力和生產(chǎn)線產(chǎn)量。Manz知名的 SpeedPicker 2.1優(yōu)化版系統(tǒng)目前是全球速度最快的自動化設備，在裝載和卸載過程中可實現(xiàn)100%的檢驗率，每小時可處理3,400個電池芯片，并且擁有進一步提升處 理能力的額外潛能。由于體積小巧，該系統(tǒng)可在有限空間內(nèi)實現(xiàn)現(xiàn)有生產(chǎn)線的升級，是客戶理想的投資選擇。SpeedPicker使用特殊的視覺系統(tǒng)來進行校 準對齊，因而大大降低了在生產(chǎn)流程中因機械校準操作而產(chǎn)生應力造成硅片破損。Manz升級版SpeedPicker包含位置驗證和硅片校準等核心技術，可 以識別邊緣和棱角，有助于清理已損壞的硅片。
作為配套技術，Manz還提供了業(yè)界領先的濕化學加工工具IPSG CEI 4800，以去除硅片背面及邊緣的重摻雜層，從而形成化學除邊（CEI）。此外，IPSG CEI 4800還可去除在之前擴散過程中殘留在硅片正面的磷硅玻璃（PSG）層。由于應用了柔軟的海綿輥的概念并將基板機械應力降至最低，IPSG CEI 4800可保障最低破片率。
Manz集團首席執(zhí)行官Dieter Manz表示：“經(jīng)過多年的發(fā)展，Manz與世界各地的知名太陽能企業(yè)都建立了良好的技術合作關系。Manz近期獲得的PERC生產(chǎn)解決方案訂單總額已超 過4000萬人民幣。包括晶澳太陽能（JA Solar）、聯(lián)景光電（Topcell）、新日光能源科技（NSP）、以及旭泓全球光電（中美硅晶宜蘭分公司）在內(nèi)的多家知名太陽能廠商都選用了我們的PERC生產(chǎn)解決方案來提高他們的生產(chǎn)率和產(chǎn)出質(zhì)量。在中國市場，Manz贏得了全球知名電池制造企業(yè)的高度認可。作為唯一一家在工藝流程、激光和鈍化領域具備雄厚專業(yè)技術實力，能夠提供可靠自動化系統(tǒng)的設備提供商，我們可為客戶提供技術領先的高效率PERC量產(chǎn)工具，幫助并支持太陽能廠商擴展產(chǎn)能。”
在光伏產(chǎn)業(yè)，Manz專注于晶硅太陽能電池和薄膜太陽能組件的生產(chǎn)工藝及解決方案。在晶硅太陽能領域，Manz致力于提供有關金屬化、激光加工、濕化學和真空鍍膜的工藝和設備、自動化解決方案、以及測試和檢驗技術。
Manz 集團 ——激情成就高效能 （passion for efficiency）
Manz 集團總公司位于德國羅伊特林根市，是一家全球領先的高科技設備制造商。公司于1987年成立，在自動化、量測、激光加工、真空鍍膜、濕化學、印刷和鍍膜、 以及卷對卷工藝等七大技術領域擁有雄厚的技術實力。Manz致力于在太陽能、電子組件、電子器件和儲能等戰(zhàn)略業(yè)務領域應用及持續(xù)開發(fā)上述技術。Manz 集團于2006 年在德國公開上市，由創(chuàng)立者Dieter Manz 先生擔任首席執(zhí)行官。Manz 集團目前在德國、中國大陸、臺灣、斯洛伐克、匈牙利及意大利皆設有自己的生產(chǎn)基地，而Manz 集團的業(yè)務銷售及服務網(wǎng)絡遍布全球，包括美國、韓國和印度。至2015年年初，Manz 集團在全球擁有約1,900名員工，其中在亞洲約有900 名。在該公司宣言“激情成就高效能”的推動下，Manz 承諾未來會為各種重點產(chǎn)業(yè)的客戶，提供更高效能的生產(chǎn)系統(tǒng)解決方案。作為世界領先的設備制造商，Manz為其全球眾多客戶降低終端產(chǎn)品的生產(chǎn)成本做出了巨 大貢獻。