諾發(fā)" title="諾發(fā)">諾發(fā)系統(tǒng)有限公司(Novellus Systems, Inc., Nasdaq股票代碼：NVLS)日前宣布推出VECTOR Extreme?等離子增強化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng) ，該系統(tǒng)每小時的產量高達250片晶圓" title="晶圓">晶圓，是業(yè)界最快的PECVD設備。與市場上的其它系統(tǒng)相比，VECTOR Extreme可使芯片制造商的平均生產周期縮短40%以上。另外，工廠的晶圓庫存也將顯著降低，使客戶能靈活應對半導體市場" title="半導體市場">半導體市場不斷變化的需求。?

消費電子與電腦產品對固態(tài)存儲器的需求不斷增加促使制造DRAM及NAND閃存器件工廠的產能迅速增加。由于典型存儲器件的制造過程需要二十多道PECVD工序，因此在這些業(yè)界一流的高產能存儲器工廠中，PECVD系統(tǒng)生產量已日益成為影響總體生產周期時間與晶圓庫存水平的重要因素。?

諾發(fā)公司的VECTOR Extreme平臺通過將三個多站式順序處理模塊以及多達12個沉積站集成在一個中心晶圓傳送室上，實現(xiàn)了業(yè)界最高的PECVD生產量。當使用這種配置沉積存儲器件生產通常使用的較厚薄膜時，VECTOR Extreme可實現(xiàn)的生產量將是最接近競爭對手的兩倍以上。?

“隨著存儲器工廠紛紛上線運行每月計劃晶圓產量超過100,000片的生產線，一個對系統(tǒng)生產量有特殊要求的全新PECVD細分市場已經出現(xiàn)。”諾發(fā)公司電介質事業(yè)部總經理兼高級副總裁Tim Archer先生指出， “VECTOR Extreme吸引了這些超級晶圓廠的注意，因為該設備的生產量高，從而能夠減少總設備數(shù)，縮短工廠生產周期，從而有助于最小化晶圓庫存并降低最終產品成本。”?

諾發(fā)公司VECTOR系列的其它PECVD產品包括VECTOR Express?（于2007年3月推出）以及可實現(xiàn)可灰化硬掩膜(AHM)技術的VECTOR Express（于2007年6月推出）。VECTOR Express自推出以來迅速得到全球市場的認可，并已開始批量供貨。?

批量生產的VECTOR Extreme預計將于2007下半年開始供貨。VECTOR Extreme實現(xiàn)了業(yè)界領先的生產量，同時還保持了諾發(fā)公司業(yè)經生產驗證的VECTOR Express PECVD系統(tǒng)的工藝透明性。?

VECTOR簡介

諾發(fā)于2000年推出VECTOR 系統(tǒng)。VECTOR的推出徹底變革了300mm PECVD市場。這一業(yè)界領先的PECVD系統(tǒng)能夠沉積先進的雙鑲嵌結構所需的各種電介質薄膜，是大批量生產的首選設備之一，也是裝機量最大" title="最大">最大的300mm PECVD系統(tǒng)。該設備設計簡單，能夠確保系統(tǒng)具有最高的可靠性和正常工作時間。?

諾發(fā)公司簡介：

諾發(fā)系統(tǒng)有限公司（Novellus Systems, Inc., Nasdaq股票代碼：NVLS）是全球領先的半導體工藝" title="半導體工藝">半導體工藝設備供應商。通過創(chuàng)新性新技術的開發(fā)和值得信賴的高生產效率的支持，該公司的產品能夠為客戶提供最大的價值。諾發(fā)是一家標準普爾500指數(shù)公司，總部位于加州圣何塞，分支機構跨越全球各個國家和地區(qū)。有關諾發(fā)公司的更多信息，請訪問網(wǎng)站www.novellus.com。