一、引言
CCD （Charge Coupled Device） ，即電荷耦合器件，是一種金屬－氧化物－半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的新型器件，其基本結(jié)構(gòu)是一種密排的MOS電容器，能夠存儲(chǔ)由入射光在CCD像敏單元激發(fā)出的光信息電荷，并能在適當(dāng)相序的時(shí)鐘脈沖驅(qū)動(dòng)下，把存儲(chǔ)的電荷以電荷包的形式定向傳輸轉(zhuǎn)移，實(shí)現(xiàn)自掃描，完成從光信號(hào)到電信號(hào)的轉(zhuǎn)換。這種電信號(hào)通常是符合電視標(biāo)準(zhǔn)的視頻信號(hào)，可在電視屏幕上復(fù)原成物體的可見(jiàn)光像，也可以將信號(hào)存儲(chǔ)在磁帶機(jī)內(nèi)，或輸入計(jì)算機(jī)，進(jìn)行圖像增強(qiáng)、識(shí)別、存儲(chǔ)等處理。因此，CCD器件是一種理想的攝像器件。
二、CCD的主要特性
與真空攝像管相比，固體攝像器件有如下特點(diǎn)：
（1）體積小、重量輕、耗電少、啟動(dòng)快、壽命長(zhǎng)和可靠性高。
（2）光譜響應(yīng)范圍寬，一般的CCD器件可工作在400nm～1100nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)。最大響應(yīng)約在900nm。在紫外區(qū)，由于硅片自身的吸收，量子效率下降，但采用背部照射減薄的CCD，工作波長(zhǎng)極限可達(dá)100nm。
（3）靈敏度高。CCD具有很高的單元光量子產(chǎn)率，正面照射的CCD的量子產(chǎn)率可達(dá)20％，若采用背部照射減薄的CCD，其單元量子產(chǎn)率高達(dá)90％以上。
（4）動(dòng)態(tài)響應(yīng)范圍寬。CCD的動(dòng)態(tài)響應(yīng)范圍在4個(gè)數(shù)量級(jí)以上，最高可達(dá)8個(gè)數(shù)量級(jí)。
（5）分辨率很高。線陣器件有7000像元，可分辨最小尺寸7mm；面陣器件己達(dá)4096像元×4096像元，CCD攝像機(jī)分辨率已超過(guò)1000線以上。
（6）易與微光像增強(qiáng)器級(jí)聯(lián)耦合，能在低光條件下采集信號(hào)。
（7）抗過(guò)度曝光性能。過(guò)強(qiáng)的光會(huì)使光敏元飽和，但不會(huì)導(dǎo)致芯片毀壞。
基于以上特性，將CCD用于微光電視系統(tǒng)中，不僅可以提高系統(tǒng)終端顯示圖象的質(zhì)量，而且可以利用計(jì)算機(jī)對(duì)圖像進(jìn)行增強(qiáng)、識(shí)別、存儲(chǔ)等操作。
三、CCD在微光電視系統(tǒng)中的應(yīng)用方式
CCD微光電視系統(tǒng)組成結(jié)構(gòu)如圖1所示。其中，CCD必須與光像增強(qiáng)器相耦合才能發(fā)揮作用。微光像增強(qiáng)器與CCD耦合方式有三種：
（1）光纖光錐耦合方式
光纖光錐也是一種光纖傳像器件，一頭大，一頭小。可將微光管光纖面板熒光屏（通常，Φ有效為18、25或30mm）輸出的經(jīng)增強(qiáng)的圖像，耦合到CCD光敏面（對(duì)角線尺寸通常是12.7mm和16.9mm）上，從而可達(dá)到微光攝像的目的。
這種耦合方式的優(yōu)點(diǎn)是熒光屏光能的利用率較高，缺點(diǎn)是：需要帶光纖面板輸入窗的CCD，對(duì)背照明模式CCD的光纖耦合，有離焦和MTF下降問(wèn)題；此外，光纖面板、光錐和CCD均為若干個(gè)像素單元陣列的離散式成像元件，因而，三陣列間的幾何對(duì)準(zhǔn)損失和光纖元件本身的疵病對(duì)最終成像質(zhì)量的影響都是值得認(rèn)真考慮并予嚴(yán)格對(duì)待的問(wèn)題。
（2） 中繼透鏡耦合方式
采用中繼透鏡也可將微光管的輸出圖像耦合到CCD輸入面上，其優(yōu)點(diǎn)是調(diào)焦容易，成像清晰，對(duì)正面照明和背面照明的CCD均可適用；缺點(diǎn)是光能利用率低（≤10％），儀器尺寸稍大，系統(tǒng)雜光干擾問(wèn)題需特殊考慮和處理。
（3） 電子轟擊式CCD，即EBCCD方式
以上前兩種耦合方式的共同缺點(diǎn)是微光攝像的總體光量子探測(cè)效率及亮度增益損失較大，加之熒光屏發(fā)光過(guò)程中的附加噪聲，使系統(tǒng)的信噪比特性不甚理想。為此，人們發(fā)明了電子轟擊CCD（EBCCD），即把CCD做在微光管中，代替原有的熒光屏，在額定工作電壓下，由來(lái)自光陰極的（光）電子直接轟擊CCD。實(shí)驗(yàn)表明， 10kV工作電壓下，增益達(dá)2857倍。如果采用縮小倍率電子光學(xué)倒像管（例如倍率m＝0.33），則可進(jìn)一步獲得10倍的附加增益，即EBCCD的光子－電荷增益可達(dá)104以上；而且，經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)、加工、裝調(diào)的電子光學(xué)系統(tǒng)，可以獲得較前兩種耦合方式更高的MTF和分辨率特性，且無(wú)熒光屏附加噪聲。
耦合CCD器件的性能由像增強(qiáng)器和CCD兩者決定，光譜響應(yīng)和信噪比取決于前者，暗電流、惰性、分辨力取決于后者，靈敏度則與兩者有關(guān)。
四、存在的問(wèn)題及解決途徑
從微光成像的要求考慮，最主要的是要提高器件的信／噪比。為此，應(yīng)降低器件噪聲（即減少噪聲電子數(shù)）和提高信號(hào)處理能力（即增加信號(hào)電子的數(shù)量）。可以采用致冷CCD和電子轟擊CCD兩種方法，其主要目的是在輸出信噪比為1時(shí)盡可能減少成像所需的光通量。
滿足電視要求（50fps～60fps）的CCD在室溫下有明顯的暗電流，它將使噪聲電平增加。在消除暗電流尖峰的情況下，暗電流分布的不均勻也會(huì)在輸入光能減少時(shí)產(chǎn)生一種噪聲的“固定圖形”。此外，在高幀率工作時(shí)，每個(gè)像單元信號(hào)的利用率不能降低。器件致冷會(huì)使硅中的暗電流明顯改善，每冷卻8℃噪聲將下降一半。用普通電氣致冷到-20℃～-40℃時(shí)，暗電流會(huì)比室溫下小100～1000倍，但這時(shí)的其它噪聲就變得很突出了。
配合致冷，采用浮置柵放大器的低噪聲輸出（FGA和DFGA），CCD的檢測(cè)效果更為理想。其中，F(xiàn)GA能處理100個(gè)噪聲的CCD像感器峰值信號(hào)，而DFGA的飽和電平約為FGA的1／10，它僅能處理約20個(gè)噪聲電子的像感器峰值信號(hào)。
五、小結(jié)
隨著觀察距離的增加和要求在更低照度下進(jìn)行觀察，對(duì)微光電視系統(tǒng)的要求越來(lái)越高，因此研制新的高靈敏度、低噪聲的攝像器件勢(shì)在必行，CCD圖像傳感器靈敏度高和低光照成像質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)正好迎合了微光電視系統(tǒng)這一發(fā)展趨勢(shì)。作為新一代微光成像器件，CCD圖像傳感器將會(huì)在微光電視系統(tǒng)中發(fā)揮著關(guān)鍵的作用。
