簡介
在ADI公司的眾多產(chǎn)品中，MEMS麥克風(fēng)IC的獨特之處在于其輸入為聲壓波。因此，這些器件的數(shù)據(jù)手冊中包括的某些技術(shù)規(guī)格可能不為大家所熟悉，或者雖然熟悉，但其應(yīng)用方式卻比較陌生。本應(yīng)用筆記解釋MEMS麥克風(fēng)數(shù)據(jù)手冊中出現(xiàn)的技術(shù)規(guī)格和術(shù)語，以便幫助設(shè)計人員將麥克風(fēng)正確集成到系統(tǒng)之中。
靈敏度
麥克風(fēng)的靈敏度是指其輸出端對于給定標(biāo)準(zhǔn)聲學(xué)輸入的電氣響應(yīng)。用于麥克風(fēng)靈敏度測量的標(biāo)準(zhǔn)參考輸入信號為94 dB聲壓級(SPL)或1帕（Pa，衡量壓力的單位）的1 kHz正弦波。對于固定的聲學(xué)輸入，靈敏度值較高的麥克風(fēng)的輸出水平高于靈敏度值較低的麥克風(fēng)。麥克風(fēng)靈敏度（用dB表示）通常是負(fù)值，因此，靈敏度越高，其絕對值越小。
務(wù)必注意麥克風(fēng)靈敏度規(guī)格的表示單位。如果兩個麥克風(fēng)的靈敏度不是采用同一單位來規(guī)定，則直接比較靈敏度值是不恰當(dāng)?shù)摹ＤM麥克風(fēng)的靈敏度通常用dBV來規(guī)定，即相對于1.0 V rms的dB數(shù)。數(shù)字麥克風(fēng)的靈敏度通常用dBFS來規(guī)定，即相對于滿量程數(shù)字輸出(FS)的dB數(shù)。對于數(shù)字麥克風(fēng)，滿量程信號是指麥克風(fēng)能夠輸出的最高信號水平；對于ADI公司MEMS麥克風(fēng)，該水平為120 dB SPL。有關(guān)該信號水平的更完整描述，請參見“最大聲學(xué)輸入”部分。
靈敏度指輸入壓力與電氣輸出（電壓或數(shù)字字）的比值。對于模擬麥克風(fēng)，靈敏度通常用mV/Pa來衡量，其結(jié)果可通過下式轉(zhuǎn)換為dB值：
其中OutputREF為1 V/Pa (1000 mV/Pa)參考輸出比。
對于數(shù)字麥克風(fēng)，靈敏度表示為94 dB SPL輸入所產(chǎn)生的輸出占滿量程輸出的百分比。數(shù)字麥克風(fēng)的換算公式為：
其中OutputREF為滿量程數(shù)字輸出水平(1.0)。
較高的靈敏度并不總是意味著麥克風(fēng)的性能更佳。麥克風(fēng)的靈敏度越高，則它在典型條件（如交談等）下的輸出水平與最大輸出水平之間的裕量通常也越小。在近場（近距離談話）應(yīng)用中，高靈敏度的麥克風(fēng)可能更容易引起失真，這種失真常常會降低麥克風(fēng)的整體動態(tài)范圍。
方向性
方向性描述麥克風(fēng)的靈敏度隨聲源空間位置的改變而變化的模式。ADI公司的所有MEMS麥克風(fēng)都是全向麥克風(fēng)，即它們對來自所有方向的聲音都同樣敏感，與麥克風(fēng)所處的方位無關(guān)。圖1所示為麥克風(fēng)響應(yīng)的2軸極坐標(biāo)圖。無論麥克風(fēng)的收音孔位于x-y平面、x-z平面還是y-z平面，此圖看起來都相同。
圖1. 全向麥克風(fēng)響應(yīng)圖
將全向麥克風(fēng)集成到手機(jī)等較大的機(jī)殼中后，系統(tǒng)的方向響應(yīng)可能不是全向的。對于系統(tǒng)設(shè)計人員，與定向響應(yīng)的麥克風(fēng)相比，利用全向麥克風(fēng)能夠更靈活地設(shè)計系統(tǒng)對聲學(xué)輸入的響應(yīng)。
多個全向麥克風(fēng)可以組成陣列來產(chǎn)生各種不同的方向模式，以及用于波束成形應(yīng)用。
信噪比(SNR)
信噪比(SNR)表示參考信號與麥克風(fēng)輸出的噪聲水平的比值。這種測量包括麥克風(fēng)元件和MEMS麥克風(fēng)封裝中集成的ASIC二者所貢獻(xiàn)的噪聲。SNR為噪聲水平與標(biāo)準(zhǔn)1 kHz、94 dB SPL參考信號的dB差。
要計算SNR，須在安靜、消聲環(huán)境下測量麥克風(fēng)的噪聲輸出。該參數(shù)通常表示為20 kHz帶寬內(nèi)的A加權(quán)值(dBA)，這意味著它包括一個與人耳對不同頻率聲音的靈敏度相對應(yīng)的校正系數(shù)。當(dāng)比較不同麥克風(fēng)的SNR時，必須確保它們采用相同的加權(quán)方式和帶寬；在較窄帶寬下測得的SNR優(yōu)于在整個20 kHz帶寬下測得的SNR。
動態(tài)范圍
麥克風(fēng)的動態(tài)范圍衡量麥克風(fēng)能夠做出線性響應(yīng)的最大SPL與最小SPL之差，它不同于SNR（相比之下，音頻ADC或DAC的動態(tài)范圍與SNR通常是等同的）。
麥克風(fēng)的SNR衡量噪底與94 dB SPL的參考水平之差，但在該參考水平以上，麥克風(fēng)仍然有相當(dāng)大的有用信號響應(yīng)范圍。麥克風(fēng)能夠?qū)?4 dB SPL至最高120 dB SPL的聲學(xué)輸入信號做出線性響應(yīng)。因此，MEMS麥克風(fēng)的動態(tài)范圍等于其SNR + 26 dB，其中26 dB = 120 dB-94 dB。例如，ADMP404的SNR為62 dB，而動態(tài)范圍為88 dB。
圖2顯示了聲學(xué)輸入（用dB SPL衡量）與麥克風(fēng)電壓輸出（用dBV衡量）的關(guān)系。動態(tài)范圍和SNR顯示于這兩個刻度軸之間，以供參考。圖2利用-38 dBV靈敏度和62 dB SNR的ADMP404來顯示這些關(guān)系。
圖2. 模擬麥克風(fēng)的dB SPL輸入與dBV輸出的關(guān)系
圖3顯示了數(shù)字麥克風(fēng)的dB SPL輸入與dBFS輸出之間的類似關(guān)系。注意，在此圖中，120 dB SPL的最大聲學(xué)輸入直接映射到0 dBFS輸出信號。只要最大聲學(xué)輸入對應(yīng)0 dBFS并且設(shè)置為120 dB SPL，則數(shù)字麥克風(fēng)始終具有-26 dB的靈敏度。這是由靈敏度的定義（在94 dB SPL下測量）所決定的，而不是可以通過改變麥克風(fēng)ASIC的增益進(jìn)行調(diào)整的設(shè)計參數(shù)。
圖3. 數(shù)字麥克風(fēng)的dB SPL輸入與dBFS輸出的關(guān)系
等效輸入噪聲(EIN)
等效輸入噪聲(EIN)是將麥克風(fēng)的輸出噪聲水平(SPL)表示為一個施加于麥克風(fēng)輸入端的理論外部噪聲源。低于EIN水平的輸入（SPL）在麥克風(fēng)的噪底以下，并且在麥克風(fēng)能夠產(chǎn)生輸出的信號動態(tài)范圍以外。EIN可以從動態(tài)范圍或SNR參數(shù)導(dǎo)出，如下式所示：
EIN = 最大聲學(xué)輸入-動態(tài)范圍
EIN = 94 dB-SNR
對于一個具有62 dB SNR和120 dB最大聲學(xué)輸入的麥克風(fēng)，其EIN為32 dB SPL，這大約是在安靜的圖書館中5米開外的輕聲低語所產(chǎn)生的SPL。圖2和圖3顯示了麥克風(fēng)的EIN。
頻率響應(yīng)
麥克風(fēng)的頻率響應(yīng)描述其在整個頻譜上的輸出水平。頻率上限和下限用麥克風(fēng)響應(yīng)比1 kHz的參考輸出水平低3 dB時的頻率點來描述。1 kHz的參考水平通常歸一化為0 dB。在這些條件下，ADI公司的MEMS麥克風(fēng)通常具有統(tǒng)一的100 Hz至15 kHz頻率響應(yīng)。
頻率響應(yīng)特性還包括通帶內(nèi)偏離平坦響應(yīng)的限值。這些值表示為±x dB，說明-3 dB點之間輸出信號與標(biāo)稱0 dB電平的最大偏差。
對于ADI公司的MEMS麥克風(fēng)，低頻-3 dB點以下的低頻滾降為一階（6 dB/8倍頻程或20 dB/10倍頻程），高頻-3 dB點以上的高頻滾降為二階（-12 dB/8倍頻程或-40 dB/10倍頻程）。
MEMS麥克風(fēng)數(shù)據(jù)手冊用兩幅圖來顯示此頻率響應(yīng)：一幅圖顯示頻率響應(yīng)模板，另一個幅圖顯示典型實測頻率響應(yīng)。頻率響應(yīng)模板圖顯示整個頻率范圍內(nèi)麥克風(fēng)輸出的上限和下限，麥克風(fēng)輸出保證位于此模板范圍內(nèi)。典型頻率響應(yīng)圖顯示麥克風(fēng)在整個頻段內(nèi)的實際響應(yīng)。圖4和圖5的示例為選自ADMP404數(shù)據(jù)手冊的兩幅圖。
圖4. 頻率響應(yīng)模板
圖5. 典型頻率響應(yīng)（實測）
頻率響應(yīng)較寬且平坦的麥克風(fēng)有助于系統(tǒng)設(shè)計實現(xiàn)自然、清晰的聲音。
總諧波失真(THD)
總諧波失真(THD)衡量在給定純單音輸入信號下輸出信號的失真水平，用百分比表示。此百分比為基頻以上所有諧波頻率的功率之和與基頻信號音功率的比值。
THD值越高，說明麥克風(fēng)輸出中存在的諧波水平越高。MEMS麥克風(fēng)的THD利用基波的前五次諧波計算。
此測試的輸入信號通常為105 dB SPL，比94 dB SPL參考高11 dB。與其它參數(shù)相比，THD在較高的輸入SPL下測量，這是因為隨著聲學(xué)輸入信號水平提高，THD測量結(jié)果通常也會提高。根據(jù)經(jīng)驗，輸入水平每提高10 dB，THD會提高3倍。因此，如果在105 dB SPL時THD小于3%，則在95 dB SPL時THD將小于1%。
切勿將此參數(shù)與總諧波失真加噪聲(THD + N)混為一談，后者不僅衡量諧波水平，而且包括輸出中的所有其它噪聲貢獻(xiàn)。
電源抑制比(PSRR)
麥克風(fēng)的電源抑制比(PSRR)衡量其抑制電源引腳上的噪聲，使之不影響信號輸出的能力。PSRR通過將一個217 Hz、100 mV峰峰值正弦波施加于麥克風(fēng)的VDD引腳來測量。PSRR測量將給出從麥克風(fēng)的輸出來看，此輸入信號衰減了多少dB。此參數(shù)之所以使用217 Hz頻率，是因為在GSM電話應(yīng)用中，217 Hz開關(guān)頻率通常是電源的一個主要噪聲源。
MEMS麥克風(fēng)的數(shù)據(jù)手冊也會顯示100 Hz至10 kHz頻率范圍內(nèi)的PSRR。這些麥克風(fēng)具有出色的低頻噪聲抑制性能（模擬麥克風(fēng)小于-70 dBV，數(shù)字麥克風(fēng)小于-80 dBFS）。如圖6（選自ADMP404數(shù)據(jù)手冊）所示，PSRR在高頻時提高到略低于-50 dB的水平。
圖6. 典型電源抑制比與頻率的關(guān)系
最大聲學(xué)輸入
最大聲學(xué)輸入指的是麥克風(fēng)能夠承受的最高聲壓級(SPL)。高于此參數(shù)的SPL會導(dǎo)致輸出信號發(fā)生嚴(yán)重的非線性失真。最大聲學(xué)輸入用峰值SPL來規(guī)定，而不是均方根值。
ADI公司MEMS麥克風(fēng)的最大聲學(xué)輸入為120 dB，相當(dāng)于空氣中的20 Pa聲壓級。