全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造晶圓處理、清洗和表面處理設(shè)備供應(yīng)商FSI國際有限公司（納斯達(dá)克：FSII），日前宣布收到來自重要半導(dǎo)體制造商的后續(xù)訂單，購買其新推出的ORION 單晶圓清洗技術(shù)平臺。該項(xiàng)后續(xù)訂單將為2008年12月23日發(fā)布的訂單的機(jī)臺提供擴(kuò)充的晶圓清洗量能和性能。這一追加定購乃緣于已安裝的ORION機(jī)臺杰出表現(xiàn)所帶來的鼓舞。ORION系統(tǒng)將被應(yīng)用于后段(BEOL)銅/低K導(dǎo)線制作。?

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“這項(xiàng)訂單對我們尤其重要，因?yàn)樗C明了FSI的ORION技術(shù)在制造中的應(yīng)用。”FSI總裁兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道。“對于我們所推出的用于BEOL 32nm工藝的單晶圓新技術(shù)，該客戶已經(jīng)初步進(jìn)行評估。他們在 ORION系統(tǒng)性能充分的杰出表現(xiàn)激勵下，決定擴(kuò)大應(yīng)用至當(dāng)前大量生產(chǎn)線上。該項(xiàng)訂單使我們更加相信，即使在當(dāng)前行業(yè)不景氣的情況下，我們的客戶依舊樂于為新技術(shù)投資，因?yàn)檫@些技術(shù)提供了優(yōu)越的性能和顯著的經(jīng)濟(jì)效益。”?

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ORION系統(tǒng)特有的閉室設(shè)計(jì)，同時解決了前段(FEOL)和后段（BEOL）先進(jìn)制造工藝中關(guān)鍵步驟上的清洗問題。關(guān)于FSI ORION系統(tǒng)的更多信息，請登陸FSI網(wǎng)站鏈接：http://www.fsi-intl.com/index.php/index.php/applications-and-products/orion-single-wafer-cleaning-cluster.?

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關(guān)于FSI：?

FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設(shè)備技術(shù)及支持服務(wù)的全球性的供應(yīng)商。通過使用公司產(chǎn)品組合中的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉(zhuǎn)噴霧式、汽相和超凝態(tài)過冷動力學(xué)等一整套清洗技術(shù)產(chǎn)品，客戶能夠?qū)崿F(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標(biāo)。公司推出的支持服務(wù)項(xiàng)目包括了產(chǎn)品及工藝的提升，從而延長已安裝的FSI設(shè)備的使用壽命，使世界范圍內(nèi)的客戶的資本投資獲得更高的回報。?

FSI國際有限公司全球網(wǎng)站：http://www.fsi-intl.com.?