基于SoPC的雙頻激光回饋位移測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aet
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文檔介紹：介紹了一種基于SoPC的雙頻激光回饋位移測(cè)量系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方法。該系統(tǒng)利用雙頻激光回饋理論和數(shù)字細(xì)分電路，對(duì)兩路正交的光回饋信號(hào)采用五細(xì)分和四細(xì)分電路相結(jié)合進(jìn)行細(xì)分處理，解決了單偏振光測(cè)量位移分辨率不高的問題。實(shí)驗(yàn)證明了本系統(tǒng)的可行性,精度達(dá)到了0.791 nm，是一種應(yīng)用很好的位移測(cè)量系統(tǒng)。
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