| 激光微加工系統(tǒng)及其控制單元的研究 | |
| 所屬分類：技術(shù)論文 | |
| 上傳者：aet | |
| 文檔大小：220 K | |
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| 文檔介紹：針對(duì)納秒脈沖激光微加工系統(tǒng)的發(fā)展,提出了一種集成圖形文件解析和高速運(yùn)動(dòng)控制的加工系統(tǒng),包括控制單元、激光器、機(jī)械結(jié)構(gòu)和光路系統(tǒng).在介紹了各個(gè)部分的功能之后,重點(diǎn)分析了控制單元,包括上位機(jī)圖形解析平臺(tái)及以DSP和FPGA為核心的下位機(jī)控制硬件.通過(guò)實(shí)驗(yàn)分析和算法優(yōu)化,解決了加工誤差,在單晶硅表面得到了較好的微結(jié)構(gòu)加工效果. | |
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