《電子技術應用》
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日開發可預測半導體特性變化的電子模型

2008-06-05
作者:新浪科技

一家由東芝" title="東芝">東芝、NEC電子等11家日本半導體生產商" title="半導體生產商">半導體生產商共同出資建立的高技術企業半導體尖端技術公司,近日成功開發出一種電子模型,該模型可被應用于預測互補金屬氧化物半導體" title="互補金屬氧化物半導體">互補金屬氧化物半導體(CMOS)晶體管的特性變動。?

在下一代半導體的研制與開發過程中,通常都會應用到一種叫淺溝道隔離(STI)的技術,這種技術被用于分隔大規模集成電路" title="大規模集成電路">大規模集成電路中CMOS晶體管的相鄰元件。而應用新開發的這種模型,可以在進行STI工序時預測所產生的應力引起的晶體管的特性變化,從而使對相鄰元件間距離的計算更加精確,不必像過去進行半導體設計時那樣考慮過多的冗余。?

據該公司稱,這項發明可以將大規模集成電路的性能最大" title="最大">最大提高20%%,并將被日本生產商應用于下一代大規模集成電路的開發。?

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