《電子技術應用》
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設計參數(shù)對射頻SOI開關功率承受能力影響研究
電子技術應用
劉張李
上海華虹宏力半導體制造有限公司
摘要: 通過比較分析研究射頻開關管寬度與堆疊級數(shù)變化和柵極與體區(qū)偏置電阻對射頻開關性能的影響,主要包括前兩級射頻開關管寬度、不同級數(shù)射頻開關管寬度、逐步變化射頻開關管寬度和偏置電阻等設計參數(shù),對射頻開關插入損耗、隔離度和功率承受能力的影響。研究結果為射頻開關電路設計提供參考。
中圖分類號:TN432 文獻標志碼:A DOI: 10.16157/j.issn.0258-7998.246218
中文引用格式: 劉張李. 設計參數(shù)對射頻SOI開關功率承受能力影響研究[J]. 電子技術應用,2025,51(9):30-34.
英文引用格式: Liu Zhangli. Effects of design parameter on power handling capability of RF SOI switch[J]. Application of Electronic Technique,2025,51(9):30-34.
Effects of design parameter on power handling capability of RF SOI switch
Liu Zhangli
Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corporation
Abstract: The effects of design parameter on power handling capability of radio-frequency silicon-on-insulator (RF SOI) switch were comprehensively investigated in this work, including the width of Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET) under different stack, and the Gate/Body bias resistance. The impacts of larger 1st/2nd stage MOSFET width, larger N stage MOSFET width, gradual change MOSFET width and different Gate/Body bias resistance on RF switch insertion loss, isolation and power handling capability were discussed in detail. The result can be reference as RF switch circuit design.
Key words : RF switch;power handling capability;bias resistance;MOSFET width

引言

射頻SOI(Silicon-On-Insulator)開關具有低插入損耗、高隔離度、高線性度和高功率處理能力,基本上已完全替代GaAs,成為射頻開關主流產(chǎn)品。文獻[1-7]研究了不同設計SOI射頻開關性能。文獻[8]研究大功率模式下襯底網(wǎng)絡模型對大信號建模的影響,并給出了SOI襯底橫向電阻電容網(wǎng)絡和縱向電阻電容網(wǎng)絡的建模方法,主要研究對象為SOI襯底。文獻[9]研究了首兩級在柵極與漏極增加電容對射頻開關處理能力的影響。文獻[10]研究了不同設計參數(shù)對SOI射頻開關小信號的影響。從已有參考文獻來看,系統(tǒng)分析射頻開關管寬度和偏置電阻大小等設計參數(shù)對射頻開關功率承受能力影響鮮有報道。


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http://www.jysgc.com/resource/share/2000006683


作者信息:

劉張李

(上海華虹宏力半導體制造有限公司,上海 201203)


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