據《無錫日報》消息，8月15日，國產首臺28納米關鍵尺寸電子束量測量產設備在錫成功出機。

電子束晶圓量檢測設備是芯片制造領域除光刻機外，技術難度最大、重要程度最高的設備之一。

此次出機的28納米關鍵尺寸電子束量測量產設備，由無錫亙芯悅科技有限公司自主研制，在電子光學系統、運動平臺、電子電路和軟件等方向實現了完全自研，能有效解決我國半導體量檢測領域關鍵核心難題，對于填補我國集成電路產業關鍵環節空白、提高國產芯片高端裝備自主可控水平具有里程碑意義。

在當天活動現場，亙芯悅科技、上海交通大學自動化與感知學院合作共建的電子光學AI平臺聯合實驗室同步揭牌，雙方將攜手在技術創新、產業應用、科技人才培養等領域開展全面合作，通過貫通“理論突破—工藝驗證—產線落地”全鏈條，為后續設備創新研發注入新動能。

活動前，市領導和嘉賓一同調研亙芯悅電子束量檢測設備生產線，詳細了解企業發展歷程、人才團隊、技術路徑、核心設備等情況。

無錫作為全國第二個集成電路產業產值過千億元的城市，近年來創新出臺集成電路高質量發展36條措施，設立總規模50億元的江蘇無錫集成電路產業專項基金，吸引國家集成電路產業投資基金在錫投資超百億元，先后獲批國家集成電路設計無錫產業化基地、國家微電子高新技術產業基地、國家集成電路特色工藝及封裝測試創新中心。

去年，全市集成電路規上企業實現產值2512億元、同比增長9.3%；入選中國獨角獸企業名單新增數量全省第一、且均為集成電路領域企業。今年1-6月，全市集成電路規上企業實現產值1315億元，同比增長14.2%。