6月13日消息，彌費科技近期宣布已在兩家12吋晶圓廠完成自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）的驗收，成為國內首家在晶圓廠領域打破海外長期壟斷的國產AMHS供應商。

在晶圓廠整廠AMHS系統(tǒng)級驗收上，彌費科技已累計完成一家8吋碳化硅晶圓廠，一家12吋IDM晶圓制造廠和一家12吋標準代工廠國產化驗證平臺，并打通了驗證平臺和量產代工廠之間的銜接，實現(xiàn)了該驗證平臺上的所有國產化晶圓生產設備和量產線之間的無縫切換，既完成了國產化率和供應鏈安全的目標，也幫客戶實現(xiàn)了整廠晶圓制造效率的顯著提升。

不同應用領域對AMHS系統(tǒng)的性能要求不同。相比于面板制造、硅片廠、封裝廠等應用場景，晶圓制造廠從制造工序、搬運量、調度頻率、天車設備性能要求、軟件調度要求和整體AMHS系統(tǒng)可靠性、穩(wěn)定性等要求上都相對最高，所以這一應用領域長期被兩家海外公司壟斷，全球95%以上的晶圓廠都使用海外供應商的產品。在晶圓廠領域的交付并驗收成功，充分證明了彌費科技AMHS系統(tǒng)的高品質和可靠性，使我國AMHS產品在國際市場的競爭力得到了顯著提升。

彌費科技一直深耕在自動化搬運系統(tǒng)中最難的應用領域—晶圓制造廠。自2018年開始，針對晶圓廠的自動化需求，逐步開發(fā)完成了31類硬件產品、2類軟件產品，涵蓋軟件產品、傳輸產品、存儲產品、凈化產品和零部件。與同類型的供應商相比，產品線更齊全并且技術完全自主可控，具備技術平臺持續(xù)升級迭代、產品混合兼容部署的能力。

作為自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）國產化的先鋒，彌費科技成功攻克了在AMHS系統(tǒng)中最高難度的晶圓廠交付及驗收。開啟了國產AMHS系統(tǒng)在晶圓廠實際量產過程中的系統(tǒng)數(shù)據(jù)積累，通過數(shù)據(jù)分析和優(yōu)化，進一步提升了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。此外，公司還不斷打磨優(yōu)化自身產品的供應鏈，并搭建了零部件的可靠性驗證到系統(tǒng)級的可靠性驗證測試平臺，鞏固和擴大在成本控制及項目交付方面的競爭優(yōu)勢。這一里程碑式的成就，預示著未來將逐步消除晶圓廠對國產自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）的疑慮和不信任。這不僅打破了當前國產AMHS供應商僅能獲得demo line的惡性循環(huán)，也預示著燒錢時代的終結。這一進展意味著國產AMHS將逐漸獲得更廣泛的市場認可，為我國半導體產業(yè)的發(fā)展注入新的活力。

公司還充分發(fā)揮半導體晶圓廠中國AMHS企業(yè)標桿作用，引領行業(yè)標準的制定。由公司牽頭制定的AMHS行業(yè)首個團體標準——《集成電路晶圓廠用天車傳送系統(tǒng)應用要求》即將正式發(fā)布。立足于半導體晶圓廠對自主可控天車系統(tǒng)應用的迫切需求，將自身對天車傳送系統(tǒng)技術領域積累的應用成果與產業(yè)鏈、高等學府研究所及行業(yè)協(xié)會緊密融合。凝聚了5家協(xié)會及高校研究所、3家半導體晶圓廠、6家產業(yè)鏈上下游設備零部件及軟件企業(yè)的智慧和力量，共同打造出了高質量的標準化成果。

在上海市集成電路行業(yè)協(xié)會組織的標準評審會上，該標準獲得行業(yè)專家高度認可。作為國內首個天車傳送系統(tǒng)標準，對于該系統(tǒng)的研發(fā)與應用具有重要的指導意義，有助于建立和完善中國AMHS行業(yè)自律機制，推進行業(yè)健康可持續(xù)發(fā)展，提升中國企業(yè)在國際市場的競爭力。

彌費科技始終秉承技術創(chuàng)新驅動的理念，激勵了更多企業(yè)投入到這一領域的研究與開發(fā)中。作為國產AMHS供應商的領頭羊，彌費科技將繼續(xù)發(fā)揮自身優(yōu)勢，為實現(xiàn)AMHS領域的全面國產化不懈努力。