日前，ASML CEO Peter Wennink最新接受媒體采訪時透露，他們正在全力研制劃時代的新光刻機high-NA EUV設備，而高NA EUV光刻機系統的單臺造價將在25億元（單臺造價在3億到3.5億歐元之間，約合人民幣21.95到25.61億元）。
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資料顯示重型航母（排水量60000噸以上）航母造價是35億美金左右，而上述光刻機成本等同于f35戰斗機造價（1.5-2.5億美元）。盡管如此昂貴，但Intel此前表示自己是全球第一個下單的客戶，臺積電也跟進了。高NA EUV光刻機將在2024年進廠投入使用，預計年產能20臺左右。
按照ASML的說法，高NA EUV光刻機將在2024年進廠投入使用，預計年產能20臺左右。該公司還預計其營收將在2025年翻一番。
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