北京時間2022年7月15日——泛林集團 （NASDAQ： LRCX）、Entegris， Inc． （NASDAQ： ENTG） 和三菱化學集團旗下公司 Gelest， Inc， 于近日宣布了一項戰(zhàn)略合作，將為全球半導體制造商提供可靠的前體化學品，用于下一代半導體生產所需的、泛林突破性的極紫外 （EUV）干膜光刻膠創(chuàng)新技術。三方將合作對未來幾代邏輯和 DRAM 器件生產所使用的 EUV 干膜光刻膠技術進行研發(fā)，這將有助于從機器學習和人工智能到移動設備所有這些技術的實現。

強大的工藝化學品供應鏈對于 EUV 干膜光刻膠技術運用到量產至關重要。這一新的長期合作將進一步擴大干膜光刻膠技術不斷發(fā)展的生態(tài)系統，由半導體材料領先者提供雙源供應，保障全球所有市場的持續(xù)供應。

此外，泛林、Entegris 和 Gelest 還將攜手合作，加快開發(fā)未來用于高數值孔徑（高 NA）EUV 圖形化的高性價比 EUV 干膜光刻膠解決方案。高 NA EUV 被廣泛認為是未來幾十年半導體器件持續(xù)微縮和發(fā)展所需要的圖形化技術。干膜光刻膠能實現高抗刻蝕性及沉積和顯影所需的可調厚度比例，以支持高 NA EUV 降低焦深的要求。

泛林集團執(zhí)行副總裁兼首席技術官 Rick Gottscho 表示：“干膜光刻膠技術結合 EUV 為將來 DRAM 和邏輯的發(fā)展掃清了最大障礙。此次合作將泛林在干膜光刻膠技術領域的專業(yè)知識、尖端解決方案與材料科學能力和來自兩個前體化學品行業(yè)領導者帶來的值得信賴的供應渠道結合在一起。這一干膜光刻膠生態(tài)系統的重要擴展為該技術的創(chuàng)新和量產鋪平了道路。”

干膜光刻膠最初由泛林與 ASML 和 IMEC合作開發(fā)，提升了 EUV 光刻的分辨率、生產率和良率，從而解決了與下一代 DRAM 和邏輯技術相關的關鍵挑戰(zhàn)。該技術提供出色的劑量－尺寸比和劑量－缺陷率性能，從而提高了 EUV 掃描儀的生產率并降低持有成本。此外，與傳統抗蝕劑工藝相比，泛林的干膜光刻膠工藝消耗的能源更少，原材料消耗量比之前要少五到十倍，從而提供了關鍵的可持續(xù)發(fā)展優(yōu)勢。

Entegris首席執(zhí)行官 Bertrand Loy 表示：“泛林的干膜光刻膠技術反映了材料層面的關鍵創(chuàng)新，并且提供多項優(yōu)勢，包括分辨率更佳、成本效益更高以及具吸引力的可持續(xù)發(fā)展效益。我們很自豪能夠參與這項創(chuàng)新合作，以加速干膜光刻膠技術的采用，并在客戶運用這項重要技術創(chuàng)造下一代半導體之際，成為他們值得信賴的工藝材料供應商。”

三菱化學集團旗下 Gelest 總裁 Jonathan Goff 表示：“我們與泛林和 Entegris 合作開發(fā) EUV 光刻所使用的干膜光刻膠，這表明我們致力于支持芯片制造商在材料科學領域的創(chuàng)新。近年來，我們已經看到 EUV 展現出了非凡的價值，我們很高興成為不斷發(fā)展的生態(tài)系統的一部分，以擴大其潛力。”

關于泛林集團

泛林集團 （NASDAQ： LRCX） 是全球半導體創(chuàng)新晶圓制造設備及服務的主要供應商。泛林集團的設備和服務助力客戶構建體積更小、性能更出色的器件。事實上，當今幾乎每一塊先進芯片的制造都使用了泛林集團的技術。我們出色的系統工程、技術領導力、以及基于強大的價值觀的企業(yè)文化，都與對客戶的堅定承諾緊密結合。泛林集團是一家 FORTUNE 500?（美國《財富》500 強）公司，總部位于美國加利福尼亞州弗里蒙特市，業(yè)務遍及世界各地。欲了解更多詳情，請訪問www．lamresearch．com。

關于Entegris

Entegris 是全球半導體市場電子材料領域的領導者。Entegris 擁有約 8，800 名員工，業(yè)務遍布全球，除了為生命科學和其他先進的制造環(huán)境提供解決方案外，還為半導體客戶提供業(yè)界最全面、創(chuàng)新的端到端產品組合。Entegris 的解決方案可幫助客戶提升生產力、產品性能以及良率，從而實現改變世界的科技。它在美國、加拿大、中國、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、韓國和中國臺灣設有制造基地、客戶服務和／或研究機構。欲了解更多 Entegris 的信息，請訪問www．entegris．com。

關于Gelest

Gelest 是專業(yè)硅酮、有機硅烷、金屬有機化合物和丙烯酸酯單體的創(chuàng)新者、制造商和全球供應商，總部位于美國，服務于醫(yī)療設備、生命科學、涂料和粘合劑、微電子和個人護理等先進技術終端市場。作為世界上最大和最成功的化學公司之一三菱化學集團旗下一員，Gelest 可以利用集團的專業(yè)知識、研發(fā)支持和資源，開發(fā)尖端的化學技術、產品和服務來應對社會最復雜的材料科學挑戰(zhàn)，從而助力客戶取得成功。