今年上海進博會上，光刻機霸主ASML再度亮相。ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波就光刻機再次表態(tài)，他表示向我國出口集成電路光刻機持開放態(tài)度，在法律法規(guī)框架下全力支持。不過，EUV光刻機依然無法出貨給大陸客戶，但除此之外其他產(chǎn)品都可以出貨。也就是說，DUV光刻機不受其他限制。

此前，ASML曾連續(xù)四次公開表態(tài)。第一次表示會加快布局我國市場，提供更加完善的售后服務。第二次直接表示向國內(nèi)廠商銷售DUV光刻機，不需要許可。第三次直接提高了對我國市場的營收預期。在去年的進博會上，ASML第四次表示向我國出售光刻機持開放態(tài)度。

從ASML的這次表態(tài)來看，EUV光刻機依然遲遲難見希望。眾所周知，中芯國際在三年前曾花費1．5億美元向ASML訂購了一臺EUV光刻機，原本應該于2019年初就交貨，但由于美方阻撓，ASML拿不到許可證，至少未交付。

在今年3月初，中芯國際宣布和ASML簽訂了延長采購協(xié)議至今年年底，協(xié)議總價為12億美元。按照產(chǎn)品金額來算，至少可以購買幾十臺DUV光刻機。

對于中芯國際而言，公司今年分別在北京、上海、深圳增資加碼擴大產(chǎn)能，DUV光刻機無疑成為了最為重要的設備之一。但新的問題出現(xiàn)了，據(jù)臺媒報道，目前中芯國際跟ASML續(xù)簽的這個訂單的DUV光刻機還沒有到貨。并且隨著采購協(xié)議的最后期限臨近，恐怕這筆訂單將要跳票，從而危及中芯國際未來的產(chǎn)能計劃。

根據(jù)沈波的說法，DUV光刻機應該是不受限制的，而遲遲無法供貨的原因是，由于全球缺芯導致的光刻機需求增大，雖然ASML已經(jīng)在盡力擴大產(chǎn)能，但依然不能滿足用戶需求。并且由于涉及的幾千家配套供應商只能提供85％的零部件，因此有的產(chǎn)品交付期甚至要翻倍。

這意味著光刻機的訂單太多，ASML雖能擴大產(chǎn)能，但供應商的配套部件跟不上，導致光刻機交貨期也得延長。

另一方面，此前中芯國際宣布與ASML達成批量設備采購延長協(xié)議之后，美國共和黨眾議員麥考爾和魯比奧還曾聯(lián)合致信美國商務部長雷蒙多稱，基于中芯國際協(xié)助中國大陸追求“取代美國在全球的領先地位”方面發(fā)揮的作用，為保護美國的國家安全利益，要求拜登政府勸說荷蘭政府阻止ASML出售DUV光刻機賣給中芯國際，并且還須與盟國達成協(xié)議，統(tǒng)一出口限制和許可權(quán)，限制類似DUV和EUV光刻等技術設備的出售。顯然，訂單積壓也許是中芯國際訂購的DUV未能如期交貨的原因之一，但背后又是否還存在其他的阻礙因素也不好說