本期是獲得本次“中國光電博覽獎”金獎的產品，分別為季華實驗室的極大規(guī)模集成電路制造裝備專用射頻電源研發(fā)及產業(yè)化和蘇州慧利儀器有限責任公司的數(shù)字化高精度激光干涉儀。

　　季華實驗室

　　助力中國提升半導體科技硬實力

　　季華實驗室展示項目受到本屆中國光博會的推介，其中項目“極大規(guī)模集成電路制造裝備專用射頻電源研發(fā)及產業(yè)化”經“中國光電博覽獎”專家團評審，榮獲金獎。季華實驗室半導體技術部主任徐平對該項目獲此殊榮也表示感謝及肯定。

　　本次金獎獲獎企業(yè)季華實驗室獲獎產品JHL-RF 5000 2MHz射頻電源

　　JHL-RF 5000 2MHz射頻電源

　　該產品是季華實驗室旗下的“微波與真空技術研究室”研發(fā)團隊經一年多的努力，開發(fā)出的第二款高端制造專用電源產品，是一種高性能、高穩(wěn)定、高精確的大功率射頻電源：在2MHz頻率下穩(wěn)定輸出功率達到 5 kW，基于脈沖模擬、掃頻算法、窄帶功率傳感器及智能雙環(huán)控制系統(tǒng)設計實現(xiàn)高精度可調制脈沖射頻輸出；針對功率拓撲、合路輸出架構以及冷卻系統(tǒng)等方面進行全面優(yōu)化，直接提升射頻電源的穩(wěn)定性和耐用性。該款大功率高穩(wěn)定的射頻電源作為集成電路制造裝備核心零部件之一，廣泛適用于等離子體應用，包括等離子刻蝕、等離子增強化學氣相沉積、等離子清洗、離子注入等半導體關鍵工序設備，也可應用在太陽能板、面板制造行業(yè)中。未來，微波與真空技術研究室團隊將以6kW2.45GHz微波電源及5kW 2MHz射頻電源為主打，大力推進半導體行業(yè)專用電源的產業(yè)化，突破國外技術和設備壟斷封鎖，推動中國半導體產業(yè)的快速發(fā)展，為實現(xiàn)中國半導體產業(yè)設備國產化做貢獻。

　　季華實驗室是廣東省委、省政府啟動的首批4家廣東省實驗室之一，圍繞國家和廣東省重大需求，集聚、整合國內外優(yōu)勢創(chuàng)新資源，打造先進制造科學與技術領域國內一流、國際高端的戰(zhàn)略科技創(chuàng)新平臺。

　　徐主任說3年前，在外奮斗了幾十年的他帶著創(chuàng)業(yè)夢，帶著團隊從新加坡回到中國，入駐佛山季華實驗室，開展基礎研發(fā)、應用研發(fā)和學科建設。“我們團隊的目標是沉淀一批自主可控的核心技術，用填補國內空白的首批‘季華’品牌為佛山經濟高質量發(fā)展添動能，助力佛山制造業(yè)高質量發(fā)展，助力中國提升半導體科技硬實力。”他接著說道，“簡單說，我就是開了一家服務于半導體企業(yè)的‘4S店’，扮演者‘修理工’的角色，為半導體大廠提供服務”，“開自己的‘4S’店只是我創(chuàng)業(yè)夢的第一步，我想把在國外學習掌握的知識、技術帶回中國，在中國‘設廠’，助力中國半導體產業(yè)發(fā)展。”

　　蘇州慧利儀器有限責任公司

　　助力國家光電產業(yè)的蓬勃發(fā)展

　　蘇州慧利儀器有限責任公司代表十分高興的表示，蘇州慧利儀器有限責任公司申報的“數(shù)字化高精度激光干涉儀”能夠獲得首屆“中國光電博覽獎”金獎，這是團隊每一位成員相互協(xié)作，齊心協(xié)力的共同榮譽，也是各位評審專家以及整個光電產業(yè)對蘇州慧利儀器產品和技術能力的認可和肯定。

　　該公司領導在受訪中表示，“本次能夠獲得‘中國光電博覽獎’金獎也是幸運的。因為有好多團隊可能比我們做得更優(yōu)秀，只是閃光點未能完全展現(xiàn)。展望未來，希望慧利儀器能夠和產業(yè)內的同行者一道進步，助力國家光電產業(yè)的蓬勃發(fā)展。”

　　數(shù)字化高精度激光干涉儀

　　無應力平面檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種，它采用國內外首創(chuàng)的組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于高效檢測高精度平面，是蘇州慧利儀器有限責任公司新推出的尖端力作。該產品包括光源、主機、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術指標已達到國際一流水平，采用更加簡便操作的俯式測量，其擁有極高的絕對測量精度PV和絕對測量重復性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采樣點可達上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高，而且具有極高的測量效率。此款干涉儀可廣泛應用高精度光學元件制造、計量檢測、生物醫(yī)學、航空航天、國防、微電子、能源等眾多領域，具有廣闊的市場前景。

　　現(xiàn)場高效球面檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是一種高性能模塊化組合檢測干涉儀，它采用國內外首創(chuàng)的組合式激光干涉模塊作為核心部件，主要用于檢測高精度快速球面和曲率半徑球面面形。通過模塊化的設計理念，針對不同的光源、鏡頭口徑、成像方式，不僅在測量過程中拆卸方便，也可適用于多種被測面的測量，大大降低檢測成本。通過慧利儀器專用軟件，可對被測對象實時采樣和分析，并形成2D和3D圖形。

　　通用組合水平式檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是一款高性能模塊化組合激光檢測干涉儀。它依據(jù)可模塊化組合的設計理念和通過不同的組合模式，靈活地滿足不同的檢測需求。進而在結構簡單、適用于多種被測面的前提下，使用數(shù)字化相移分析方法實現(xiàn)高精度、多功能的檢測，從而大大降低檢測成本。此款干涉儀解決了被檢測對象的不確定與檢測系統(tǒng)相對固定之間的匹配問題，以及由此帶來的現(xiàn)有儀器實用性受限問題。它不僅實現(xiàn)了干涉測量技術的更新?lián)Q代，而且填補了制造業(yè)和國家質檢部門對高精度平面檢測設備需求的空白。

　　據(jù)悉，蘇州慧利儀器是一家致力于光機電軟集成和系統(tǒng)設計一體化的光學精密測量儀器公司。將國際領先的光學檢測技術產業(yè)化和引領光學檢測產業(yè)的發(fā)展潮流是慧利儀器的奮斗目標。慧利儀器團隊在光學檢測領域具有三十多年的研發(fā)和工程化經驗，研發(fā)總經費數(shù)億元，形成了以光機電軟一體化為核心的研發(fā)體系。

　　接下來，我們還會定期為大家?guī)砀喃@獎企業(yè)產品推介，請大家持續(xù)關注！

　　中國國際光電博覽會同期六展覆蓋信息通信、激光、紅外、紫外、精密光學、鏡頭及模組、傳感等版塊，面向通信、消費電子、先進制造、國防安防、半導體加工、能源、傳感、照明顯示、醫(yī)療等九大應用領域展示前沿的光電創(chuàng)新技術及綜合解決方案，是行業(yè)人士尋找新技術新產品、了解市場先機的一站式商貿、技術及交流平臺。