文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼： A
DOI：10.16157/j.issn.0258-7998.211300
中文引用格式： 周玨，吳東岷. 基于MEMS微鏡的混合式掃描同步設(shè)計(jì)[J].電子技術(shù)應(yīng)用，2021，47(7)：92-96.
英文引用格式： Zhou Jue，Wu Dongmin. Design of hybrid scanning synchronization based on MEMS micromirror[J]. Application of Electronic Technique，2021，47(7)：92-96.
0 引言
激光掃描在激光雕刻、激光雷達(dá)、激光精密打標(biāo)等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。目前激光掃描方式主要分為振鏡掃描、MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微鏡掃描以及轉(zhuǎn)鏡掃描[1]。
振鏡掃描是指振鏡電機(jī)帶動(dòng)反射鏡偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而使入射到反射鏡表面的光束發(fā)生偏轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)掃描[2]。振鏡掃描方式由于其機(jī)械結(jié)構(gòu)導(dǎo)致其掃描速度較慢，掃描頻率一般為20 Hz左右，掃描角度一般為20°×20°。
MEMS微鏡采用微機(jī)電系統(tǒng)工藝，相比機(jī)械振鏡具有體積小、諧振頻率高、光學(xué)特性好的優(yōu)點(diǎn)[3]，由于其工作在諧振頻率處，快軸掃描頻率能達(dá)到27 kHz，掃描角度一般為40°×10°[4]。
轉(zhuǎn)鏡掃描是一種比較常見的機(jī)械掃描方式，其物面掃描點(diǎn)的形狀是線狀的。有些商業(yè)LIDAR(Light Detection and Ranging)系統(tǒng)采用這種方式。轉(zhuǎn)鏡掃描具有轉(zhuǎn)速高、掃描速度大、穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)[5]。但轉(zhuǎn)鏡相比MEMS微鏡，掃描圖像分辨率較低。
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作者信息：
周 玨1，2，吳東岷2
(1.中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 微電子學(xué)院，安徽 合肥230026；
2.中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所，江蘇 蘇州215000)
