據(jù)韓國(guó)媒體 BusinessKorea 上周報(bào)道,韓國(guó)本土企業(yè)在 EUV 光刻技術(shù)方面取得了極大進(jìn)展。但并沒(méi)有提到是哪一家企業(yè),合理推測(cè)應(yīng)指代韓國(guó)整個(gè)半導(dǎo)體光刻產(chǎn)業(yè)。

韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局(KIPO)發(fā)布的《過(guò)去10年(2011-2020年)專(zhuān)利申請(qǐng)報(bào)告》顯示,2014年,向韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局(KIPO)提交的與EUV光刻相關(guān)的專(zhuān)利申請(qǐng)數(shù)量達(dá)到88件的峰值,2018年達(dá)到55件,2019年達(dá)到50件。

特別是,韓國(guó)公司正在迅速縮小其在極紫外光刻技術(shù)上與外國(guó)公司的差距。2019年,韓國(guó)本土提出的專(zhuān)利申請(qǐng)數(shù)量為40件,超過(guò)了國(guó)外企業(yè)的10件。這是韓國(guó)提交的專(zhuān)利申請(qǐng)首次超過(guò)國(guó)外。2020年,韓國(guó)提交的申請(qǐng)數(shù)量也是國(guó)外的兩倍多。

過(guò)去10年,包括三星電子在內(nèi)的全球企業(yè)進(jìn)行了密集的研發(fā),以確保技術(shù)領(lǐng)先地位。最近,代工公司開(kāi)始使用5nm EUV光刻技術(shù)來(lái)生產(chǎn)智能手機(jī)的應(yīng)用處理器。

從公司來(lái)看,全球六大公司的專(zhuān)利申請(qǐng)數(shù)占了總數(shù)的59%,卡爾蔡司(德國(guó))18%,三星電子(韓國(guó))15%,ASML(荷蘭)11%,S&S Tech(韓國(guó))8%,臺(tái)積電(中國(guó)臺(tái)灣)6%,SK海力士(韓國(guó))1%。

從具體技術(shù)項(xiàng)目看,工藝技術(shù)申請(qǐng)專(zhuān)利占32%,曝光裝置技術(shù)申請(qǐng)專(zhuān)利占31%,掩膜技術(shù)申請(qǐng)專(zhuān)利占28%,其他申請(qǐng)專(zhuān)利占9%。在工藝技術(shù)領(lǐng)域,三星電子占39%,臺(tái)積電占15%。在光罩領(lǐng)域,S&S科技占28%,Hoya(日本)占15%,漢陽(yáng)大學(xué)(韓國(guó))占10%,朝日玻璃(日本)占10%,三星電子占9%。