隨著科創板的加快推出，一大批集成電路企業正在積極備戰科創板。2月13日，國產光刻機核心系統供應商華卓精科股票終止在全國中小企業股份轉讓系統掛牌。

　　據了解，華卓精科是國內唯一一家研制光刻機雙工件臺的設備企業，符合科創板的面向國家重大需求、突破關鍵核心技術的科技創新企業定位。標志著我國成為世界上少數幾個可自主研制光刻機雙工件臺這一超精密機械與測控技術領域最尖端系統的國家。

　　資料顯示，北京華卓精科科技股份有限公司創立于2012年，由清華IC裝備團隊在清華大學及其下屬“北京-清華工業技術研究院”和02專項的支持下創立，是一家肩負著專項重大科研成果產業化重任的高新技術企業。公司建立初衷在于將清華大學在02專項中積累的高端壟斷技術落地產業化，通過“技術輻射&下行”的方式，面向國內市場提供產業界急需的高端零部件、子系統類產品。

　　在國家科技重大專項02專項中，華卓精科承擔了“浸沒式光刻機雙工件臺產品研制與能力建設”和“浸沒雙工件臺平面光柵位置測量系統研發”兩個項目。

　　目前，由華卓精科研發團隊成功研制出的具有自主知識產權的國產光刻機工件臺系統， 面向特定市場研發的IGBT激光快速退火工藝裝備，技術指標均達到國際先進水平。

　　華卓精科面向國內外的IC制造、光學、超精密制造等行業，致力于為行業提供整機裝備、核心子系統、關鍵零部件和定制服務，主營產品包含高端整機、超精密運動系統、精密儀器設備和高端特種制造等方面，現在已經成功推出了光刻機雙工件臺、精密隔振、超精密運動系統、關鍵零部件等系列化產品。

　　據資料顯示，華卓精科于2015年登陸新三板，是中國集成電路裝備的領軍企業，業績增長迅速。華卓精科2018上半年實現營業收入31,930,295.92元，比上年同期22,093,065.43元，增加44.53%;2018年上半年實現凈利潤6,836,650.82元，上年同期凈利潤為7,624,806.73元。