特許機(jī)器株式會(huì)社技術(shù)本部課長(zhǎng)董敏璇

       智能產(chǎn)品制造中，作為產(chǎn)品的大腦而使用的IC(半導(dǎo)體集成電路)是必不可缺。而IC是由光刻機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造出來(lái)的。半導(dǎo)體制造中必須的步進(jìn)掃描光刻機(jī)，光刻機(jī)等設(shè)備，由超高分辨率投影物鏡，極為精密的驅(qū)動(dòng)和高精的控制等機(jī)構(gòu)構(gòu)成，被譽(yù)為“史上最精密的機(jī)械”。運(yùn)用了最尖端的技術(shù)所達(dá)到和對(duì)應(yīng)的精度是納米級(jí)。而10億分之1米的納米，可謂是精密加工的極限。

       而為了確保IC品質(zhì)，需要導(dǎo)入電子顯微鏡等檢查設(shè)備。IC精密加工所需的微振動(dòng)環(huán)境。超過(guò)限度的震動(dòng)會(huì)對(duì)加工、檢查、觀察、測(cè)試等流程造成不利影響。

       為了防止震動(dòng)造成危害，需要免震技術(shù)、制振技術(shù)、防振技術(shù)、除振技術(shù)共同進(jìn)行。針對(duì)微振動(dòng)的控制，可以采用磁場(chǎng)主動(dòng)控制技術(shù)，隔絕由地板傳來(lái)的振動(dòng)，減小直接的干擾響應(yīng)，保持各部位置迅速?gòu)?fù)元。主動(dòng)控制技術(shù)和被動(dòng)控制技術(shù)相比更加穩(wěn)定，效果更好。