現(xiàn)在市場上的MEMS陀螺儀主要有SYSTRON、BOSCH和INVENSENSE設(shè)計和生產(chǎn)。前兩者設(shè)計的陀螺儀屬高端產(chǎn)品，主要用于汽車。后者的屬低端產(chǎn)品，主要用于消費(fèi)類電子，象任天堂的Wii。ADI2003年宣布設(shè)計和制造出了Z軸陀螺儀ADXRS300，但是沒有正式成為產(chǎn)品。下面主要介紹和比較三家公司的陀螺儀的設(shè)計、加工和性能。
一、Systron Donner “MICROGYRO”
MEMS傳感器：雙石英調(diào)音叉
信號處理：混合信號架構(gòu)，數(shù)字和模擬輸出；開放回路；兩個用于加速度傳感器的A/D通道
封裝：MEMS封裝在陶瓷腔體中并跟ASIC一起封裝在塑料腔體中。
缺點(diǎn)：成本較高
Systron Donner “MICROGYRO”
二、博世BOSCH SMG 070
MEMS：平面MEMS；Z軸
信號處理：閉合回路；混合模式；自測試
缺點(diǎn)：尺寸太大
BOSCH SMG 070
BOSCH SMG 070原理圖
三、INVENSENSE IDG 300
MEMS：體加工技術(shù)；用ASIC作封蓋并提供收集和驅(qū)動信號的電極
信號處理：開路；模擬
缺點(diǎn)：無零點(diǎn)修正；溫度導(dǎo)致+/-50度/秒的漂移。（汽車電子要求+/-1.5度/秒）
INVENSENSE IDG 300
本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外，轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點(diǎn)。轉(zhuǎn)載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問題，請及時通過電子郵件或電話通知我們，以便迅速采取適當(dāng)措施，避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失。聯(lián)系電話：010-82306118；郵箱：aet@chinaaet.com。